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公司資訊
臺式氫氣檢漏儀公司的行業(yè)須知 科儀創(chuàng)新真空
2021-06-18






真空設(shè)備檢漏

設(shè)備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便,檢測迅速等特點,是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器,

其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分,在普通工廠的噪音條件下,不受明顯干擾,因此檢漏效果很好。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。

本產(chǎn)品信息由科儀創(chuàng)新提供,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢!






真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。本產(chǎn)品信息由科儀創(chuàng)新提供,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢,科儀創(chuàng)新竭誠為您服務(wù)。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。

以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容,希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多 氫氣檢漏的知識,歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。



北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司(簡稱:科儀創(chuàng)新)出資成立,創(chuàng)建于2015年,注冊資金500萬。科儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備;氫氣檢漏法的主要設(shè)備(1)檢漏儀:采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀,由于氫氣的上述性質(zhì),其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備;超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式,與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系,盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓,則用正壓模式,如檢測對象工作時內(nèi)部處于負(fù)壓,則用真空模式。真空設(shè)備檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀,通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式,即正壓模式和負(fù)壓模式。詳細(xì)檢漏方法與測量工作過程如下:

在抽真空方式下,待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連,

待測器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待測器件容積較大,則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率)。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。如果需要得到精que的漏率數(shù)值,則必須等待整個測量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài),



并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置,可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反,嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣,

封閉測試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是,由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進行測量的,大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。由于氫氣比空氣輕,所以泄漏出來的氫氣都會沿著管道等部件往上跑,并且可以穿透保溫材料,使用者可以在部件1高位置進行檢漏,比采用其他方式查找漏點要容易得多,成功率也高很多。這個本底雖可通過置零來清除,但仍會降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。